技术编号:6873413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻装置和一种器件制造方法。背景技术 光刻装置是可在衬底、通常是衬底的目标部分上施加所需图案的机器。光刻装置例如可用于平板显示器、集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)以及其它涉及微小结构的器件的制造中。在常规装置中,可采用对比装置或图案形成装置来产生对应于平板显示器或其它器件的单个层上的电路图案,该图案形成装置可称为掩模或分划板。该图案可被转移到衬底(如玻璃板)上的目标部分(例如包括一个或多个管芯的部分)上。图案的转移通常借助于成像到设于...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。