异质结双极晶体管及其制造方法技术资料下载

技术编号:6873460

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本发明涉及在发送用高输出功率放大器等中广泛使用的。背景技术 近年来,伴随着移动电话机的高功能化和大容量通信化,即便对于移动电话机中使用的高频模拟元件也要求进一步高性能化。在高频模拟元件中异质结双极晶体管(以下记为HBT)作为发送用高输出功率放大器已经实用化了。对于该HBT的高性能化需要发射极尺寸的微细化。下面,参照图23说明已有的HBT的结构和制造方法(例如,请参照上田大助等著“高频·光半导体器件”,电子信息通信学会,日本平成11年12月1日,p.51~5...
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