具有内建电路的光探测器及其生产方法技术资料下载

技术编号:6873932

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本发明涉及具有内建电路(a built-in cirruit)的光探测器,其中用于将入射光转变为电信号的光电二极管和用于处理转变的信号的集成电路设置在同一个硅基板上,且涉及生产这种光探测器的方法。背景技术 具有内建电路的光探测器被用于广泛的应用场合中,具体地例如光拾取和光空间传输。在光拾取中,具有内建电路的光探测器用于探测焦点错误信号以调节光碟上半导体激光的焦点位置,或探测径向错误信号以调节半导体激光对光碟上蚀坑的焦点位置(即,寻道)。近年来,对于在具内建...
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