技术编号:6874277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种清洗方法,特别是有关于一种。背景技术 由于平面显示器产业的快速进步,各家厂商对于产品技术的改良莫不卯足全力。其中工艺方法的改进,对于组件效能的改良及生产效率的提升更是有极大的影响。对于平面显示器而言,显示面板是最重要的组件,而其中薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)的形成是控制平面显示器电性品质最重要的步骤之一。尤其是金属层所形成的栅极、源极及漏极,更是直接影响电性的良窳。传统TFT液晶显示阵列工艺,主要包括材料...
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