技术编号:6874309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种半导体元件的制造方法,且特别是有关于一种。背景技术 非挥发性记忆体中可进行多次资料的存入、读取、抹除等动作,且存入的资料在断电后也不会消失的功能,并兼具有存取速度快、质轻容量大、存取装置体积小等优点,所以已成为个人电脑和电子设备所广泛采用的一种记忆体元件。典型的非挥发性记忆体元件,一般是被设计成具有堆叠式闸极(Stack-Gate)结构,其中包括以掺杂的多晶硅制作浮置闸极(FloatingGate)与控制闸极(Control Gate)。...
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