技术编号:6874517
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别是涉及一种利用剥离工艺以制作薄膜晶体管的方法。背景技术 随着科技发展,平面显示器已普遍应用于各种信息产品中,其中尤以薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)液晶显示器(TFT-LCD)的发展最为成熟,因其具有外型轻薄、耗电量少以及无辐射污染等特性,所以被广泛地应用在笔记型计算机(notebook)、个人数字助理(PDA)等携带式信息产品上,甚至已逐渐取代传统阴极射线管显示器。TFT-LCD主要是利用成阵列状排列的薄...
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