技术编号：6874593
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高精密双直线电机冗余同步驱动的T型工作台。背景技术 先进电子制造领域中，由于半导体制造工艺的进步和市场对微小芯片需求的急速增长，芯片I/O密度越来越高，芯片引线间距和焊盘直径持续减小，同时为提高生产效率，封装速度逐年递增，因而对后封装设备的运动精度(主要是定位精度)和运行速度、加速度提出了极高的要求。目前大多采用单个交流直线电机驱动、低摩擦高刚度直线导轨的结构方案，完成高速、高加速和高精度的机械位移运动。高速、高加速度运动客观上要求机械系统具...
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