技术编号：6875000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有优质膜的半导体器件，该膜是在层叠导电膜、绝缘膜、半导体膜等的情况下通过对绝缘膜或者半导体膜实施等离子体处理以改善表面质量来获得的，和该半导体器件的制造方法。背景技术 近年来，用于形成具有在具有绝缘表面的衬底例如玻璃上方形成的半导体薄膜(几个nm至数百nm的厚度)的薄膜晶体管(TFT)的技术已经引起大家的注意。上述薄膜晶体管已经广泛地应用于半导体器件例如IC或者电光器件，另外，为了适应对半导体器件小型化和高性能的需要，上述薄膜晶体管具有更小...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。