技术编号:6875012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明在各个实施方案中涉及多层电极和包括所述多层电极的薄膜晶体管(TFT)。背景技术 在现代电子器件,比如传感器、成像器件和显示器件中,TFT是基础组件。对于一些应用,尤其是对于大面积电子器件,比如开关速度高并不重要的显示器(例如有源矩阵液晶监视器或电视)用背板开关线路而言,采用目前主流硅技术的TFT线路可能成本太高。硅基TFT线路的高成本主要源于资本密集型硅生产以及在制备这些线路所需的严格受控环境下的复杂高温、高真空光刻制备工艺。由于采用常规光刻工艺制备...
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