一种多孔硅发光器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6875055

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本发明涉及一种在光电集成、发光材料等领域应用的表面等离子体波增强的多孔硅发光器件,属于集成光电子。背景技术 表面等离子波[Surface plasmon wave(SPW)]是一种沿金属和介质界面传播的电磁场,在介质中它的振幅随着离开界面的距离指数衰减。SPW是一种表面波,可以将光波横向限制在亚波长的尺度内,因此可以用作纳米尺度的波导;并且在近谐振频率附近其色散曲线平坦、光子态密度大,与有源介质相互作用时可以增强自发辐射,这在有源光电子器件、光子集成等领域...
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