二片式模块化弹性探针的改良结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6875764

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本发明涉及一种探针模块的技术范畴,特别涉及一种应用于IC、晶圆等半导体组件检试的二片式模块化弹性探针的改良结构。 背景技术目前探针已广泛应用于各种测试领域,如印刷电路板测试、晶圆测试、IC封装测试、通信产品及液晶面板测试等,皆须探针作为测试媒介。除此之外,现阶 段探针亦逐渐朝精细的电子组件发展,主要是因为探针尺寸规格愈来愈精细且具 有导电性、低电阻的优点,因此将赋予探针高频信号传输的功,而可作为手机等 无线通信产品的收发天线及各类电子产品充电器、连接器的衔...
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