技术编号:6876431
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩模、掩模芯片、掩模的制造方法、掩模芯片的制造方法以及电子设备。背景技术 有机EL(电致发光)面板,由具有层叠了薄膜的结构的自发光型的高速响应性显示元件构成。因此,有机EL面板可轻松地构成对动画进行良好显示的装置,近年来,作为平板显示器(FPD)电视机等的显示面板非常引人注目。Appl,Phys,Lett,Vol,51,No.12,p.p.913-914,(1987)中公开有一种作为有机EL面板的代表性的制造方法。即,采用光刻法技术将ITO(铟-...
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