技术编号:6877017
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体,特别是指一种氢致解偶合的异质外延用柔性衬底结构。背景技术 在二十世纪九十年代里,氮化镓基蓝光材料的研究得到了迅速的发展,与之相应的蓝光器件也逐步走上了产业化道路。氮化镓基蓝光材料和器件的研究与开发一般采用蓝宝石衬底。但它在品质、尺寸及价格上都还不尽如人意。并且,日本人已经对蓝宝石生长氮化镓技术申请了专利保护。因此寻找高品质、低价格、大尺寸替代衬底成为了材料研究的热点。由于硅具有品质好、尺寸大和价格低的特色,而且在硅上制作的光电器件和外围电...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。