技术编号：6877175
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体激光器的制备方法，具体涉及微小 孔垂直腔面发射激光器的制备方法。背景技术目前的光学数据存储系统，如CD或者DVD都是远场存储 系统，由于受到了衍射极限的限制，所以存储密度有限。利用 光源近场处的倏逝波可以很好的突破衍射极限的限制，大大提 高存储密度，因此高密度光学数据存储成为近场光学应用一个 很大的领域。如果能制造出突破衍射分辨率极限的微小光源， 对微区成像、微区探测和纳米光刻等应用领域都将是极大的推 动。在这样的背景下，近场光学得到了...
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