技术编号:6877305
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用激光对半导体薄膜进行退火(以下称为激光退火)的方法和进行激光退火的激光装置(该装置包括激光器和将从激光器输出的激光引导到处理对象的光学系统)。本发明还涉及利用包括激光退火步骤的制造工艺制造的半导体器件以及该制造工艺方法。其中该半导体器件包括如液晶显示器和EL显示器之类的电子光学器件和将电子光学器件作为其部件之一的电子装置。近年来,薄膜晶体管(以下称为TFTs)有了很大的发展,并且使用多晶硅薄膜(po1ysilicon films)作为结晶半导...
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