技术编号:6879135
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及离子注入装置,尤其涉及该装置中的氙气供给装置。技术背景离子注入装置包括离子源系统、真空系统、控制系统和电源等部分。离子束加工的原理是在真空条件下,把氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等惰性气体,通过离 子源电离而产生的离子束经过加速、聚焦后,射到晶圆表面。请参阅图1,是离子注入装置中氙气供给装置的结构示意图。氛气供给装置 包括氤气瓶、计量器、反应腔以及粗泵依次串联。成气瓶给反应腔提供'氣气, 计量器用于测量氙气的流量,反应腔提供了一个真空环境...
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