技术编号：6879355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种快速调平机构，特别是一种应用于半导体制造领域的 精密仪器设备中的高精度快速调平机构。背景技术在半导体制造领域中的精密仪器设备对工件的调平通常都要求高精度、高 效率并且不伤害工件表面。现有技术中的自动调平机构有的采用了电机加丝杠 螺母或者压电陶瓷在承件台下的三点或者四点调平工件，这种调平机构不损伤 工件表面，但是由于丝杠螺母存在间隙，而压电陶资有空回，因此难以达到^艮 高的精度，同时由于需要逐点反复调节，且因为是对工件背面进行调节，所以调平...
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