技术编号：6881780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及吸附保持并运送半导体晶片、玻璃基板、金属盘等平板基 板的真空镊子用吸附片和真空镊子，特别是涉及从以规定的间隔被收容在收容 容器内的多个平板基板之中逐片抽取平板基板，或者在将平板J^反逐片收容在 收容容器内时所使用的真空镊子用艰附片和真空镊子。背景技术从以规定的间隔被收容在收容容器内的多个平板基板之中逐片抽取平板基板，或者在逐片收容在收容容器内时所使用的真空镊子，例如成为图3所示 的结构。在图3所示的真空^l聂子中，吸附片20经连4秦构件30与...
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