技术编号:6885156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种定位装置,特别是一种对半导体专用设备用的晶片定位装置。(二) 背景技术半导体专用设备在对晶片进行加工的过程中,由于晶片加工工艺的要求,使得对晶片进 行准确快速的中心定位显得非常重要。常见的定位装置包括光电传感器定位装置,图像识别 定位装置,V型挡边停靠装置等。上述几种装置在实际应用中分别存在一定的不足,如结构 较复杂、成本较高、定位精度较低、寿命较短等。(三) 实用新型内容本实用新型的目的是提供一种晶片中心定位装置,要解决传统定位装置成本...
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