技术编号:6885947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示装置中使用的薄膜晶体管,更确切地说,本发明涉及制造具有低温多晶硅的顶栅型(top gate type)薄膜晶体管(TFT)的方法。背景技术 通常,根据硅的结晶状态把硅分成非晶硅和结晶硅。非晶硅可以在玻璃基板上形成薄膜。由于玻璃基板的熔点较低,所以可在低温下将非晶硅沉积到玻璃基板上。非晶硅通常可作为开关元件使用,例如,作为液晶显示板象素中的薄膜晶体管。然而,非晶硅薄膜具有某些缺点,例如,当用于开关装置时,随着其可靠性降低,电特性将下降,而且...
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