技术编号:6886170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及图案形成装置及图案形成方法、移动体驱动系统及移 动体驱动方法、膝光装置及曝光方法、以及组件制造方法,更详细地 说,涉及在制造半导体元件及液晶显示元件等的电子组件时非常适合 在光刻工序等中使用的图案形成装置及图案形成方法、能够非常适合 在制造电子组件时使用的移动体驱动系统及移动体驱动方法、曝光装 置及膝光方法、以及使用该曝光装置、曝光方法或图案形成方法的组 件制造方法。背景技术以往,在制造半导体元件(集成电路等)、液晶显示组件等的电子 组件(微型组...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。