弹性波谐振器的制作方法技术资料下载

技术编号:6886484

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本发明涉及利用弹性表面波或弹性边界波的弹性波谐振器;详细而言,本 发明涉及对IDT电极进行交叉宽度加权的单端口型弹性波谐振器。背景技术以往已提出利用弹性表面波或弹性边界波的各种弹性波谐振器。例如,专 利文献1揭示图16和图17所示的弹性表面波谐振器。图16所示的弹性表面 波谐振器501是专利文献1中作为已有例示出的利用乐甫波(Love Wave)的弹 性表面波谐振器。此弹性表面波谐振器501在压电基片502上形成IDT电极 503。 IDT电极503是标准...
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