技术编号:6886638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通过超快退火非晶材料外延硅碳替位固溶体背景技术硅碳晶体合金(单独或可能具有其它元素)例如,S"-yCy, y<0.1,其 中碳存在为替位固溶体(即,在晶格位置上),对于半导体器件应用而言 是非常有用的材料。为了方便,在本说明书中将这些合金(优选包含附加 的元素)称为"SC3S"材料。例如,在半导体器件中SC3S可用于局部应 变设计。SC3S还可以用于带隙设计。在应变设计应用中,将SC3S的岛和 /或层集成(优选外延)到不同的晶体材料中以有利于改变该不...
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