技术编号:6886647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的示例性实施方式涉及。更具 体地,本发明的示例性实施方式涉及一种通过激光来修补聚合物掩才莫 的制造缺陷,例如斑点和气孔。背景技术聚合物掩模是光刻掩模的一种,用于接触曝光或近场成像。聚合 物掩模可以包括在透明且柔性的聚合物衬底上的不透明图案。聚合物 掩模可以通过在柔性衬底的全部区域上形成不透明的层来制造,然后 用常规的光刻工艺对该不透明层进行构图。聚合物掩模可以是用于具 有适中分辨率的大面积光刻的快速且经济的方案。例如,聚合物掩模是获得高密度印制电路板...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。