技术编号:6887562
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用适于加工半导体晶片上的半导体器件的电路 结构部件等的激光振荡装置的加工装置,得到一种即使脉冲重复频率变化也获得稳定的高输出Q开关脉冲的装置以及方法。并且,实现一 种在任意照射时序下都能够始终获得稳定输出的微细加工装置以及方 法。背景技术如业内人员公知,电子工业中微细化的电路部件的调整、修正、 加工等,是通过照射从固体激光器得到的Q开关脉沖输出,用于去除、 标记、修整等的制造工序中。在该激光加工方法中,希望激光的每个 脉冲输出能量、波形相对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。