技术编号:6888047
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及广泛应用在IC、 LSI等的M0S型半导体装置,尤其涉及一种高 速半导体装置。背景技术半导体装置出现以来,对于半导体装置投入最多技术精力的课题之一是提 高动作频率(时钟频率)。随着晶体管的动作频率值变大、高速动作变为可能, 其适用范围也随之扩大,有助于现代宽带网络社会的实现和IT化发展。半导体 装置的动作频率逐年提高,达到GHz领域,而近年其提高速度迟緩。现状是动 作频率停滞在3-4GHz,能以10GHz以上的时钟频率动作的半导体装置的实现被 人...
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