技术编号:6888423
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于去除微细的异物的清洁部件、带清洁功能的搬送 部件、以及使用该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。 更详细来说,本发明涉及用于从例如半导体、平板显示器、印刷基板、 基板处理装置等忌避微细的异物的基板和装置中去除该异物的清洁部 件、具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及使用该带清洁功 能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。背景技术在半导体、平板显示器、印刷基板等的制造装置和检查装置等忌 避异物的各种基板处理装置等中, 一边使各搬送系...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。