技术编号:6889130
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用在等离子体处理装置、特别是使用在微波 等离子体处理装置中的簇射极板以及其制造方法、和使用了该 簇射极板的等离子体处理装置、等离子体处理方法以及电子装 置的制造方法。背景技术等离子体处理工序以及等离子体处理装置对于制造近年的 被称作所谓的深亚微米元件或深亚四分之一微米元件的具有O.lpm、或O.l)Lim以下的栅极长的超孩i细化半导体装置、对于 制造包含液晶显示装置的高分辨率平面显示装置是不可或缺的 技术。作为用于制造半导体装置、液晶显示装置的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。