技术编号:6889218
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子装置用衬底、该电子装置用衬底的制造方法、及电子装置。更具体的说,根据本发明的电子装置用衬底更适合用于铁电体元件上作为电容器、用于压电体元件上作为悬臂或者类似应用。背景技术 近年来,使用铁电体的非易失性存储器的铁电体存储器开发进展迅速。这种铁电体存储器分为把铁电体作为电容器使用以形成1T(晶体管)/1C(电容器)结构的电容器型及以铁电体代替SiO2作为场效应晶体管的栅极绝缘膜使用的MFSFET(金属铁电体半导体场效应晶体管)型。MFSFET...
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