技术编号：6889357
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将氢氧化四烃基铵(以下简称TAAH)作为光刻胶的显像液使用后的， 溶解来自光刻胶的有机物(以下简称为"来自光刻胶的有机物")的含TAAH的显像废 液，利用二氧化碳或含有二氧化碳的气体中和用的新的中和方法。详细地说，涉及在中 和塔内从塔顶部供应含有TAAH的显像废液，从塔底部供应二氧化碳或含有二氧化碳的 气体，使TAAH与二氧化碳或含有二氧化碳的气体逆向流动，相互接触，进行中和反应 时，能够使中和塔内部发生的气泡不积存在中和塔内，而能有效地将其去除...
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