技术编号：6889364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于界面设计的受控环境系统背景技术一般，半导体加工是以高度受控的方式进行，严格控制环境和 工具运转。例如，安置这些工具的洁净室必须满足限制可能在操作 过程中产生的颗粒的数量的严格要求和其它受控参数。在工艺过程 中，可能要求在许多系统间多次移动衬底，并且根据需要处理以形 成集成电路器件的所需设备、所需层和所需结构多次重复在系统间 的移动。尽管半导体设备必须满足严格规定以使半导体晶片的产品合 格，这些规定通常大多数是与个体工具联系在一起。在操作中，如 果需要在...
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