技术编号:6889500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备,更具体地,涉及用于改善制造设备加工的设 备和方法。背景技术储料器(stockers)通常安装在半导体设备中,用于临时储存例如晶片、 平板显示器、LCD、光刻掩模版或掩模的工件。在制造半导体器件、LCD 面板和其他装置的过程中,有成百上千个加工设备,且因而有成百上千个 加工步骤。对于晶片、平板或LCD(下文中的工件)的流程而言,从步骤到 步骤、从工具到工具很难一致。即使是最好的设计者,也总会有预想不到 的例如工具故障、紧急批量经历、比计...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。