技术编号:6889929
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术,并特别涉及在集成电路中使用的金属电 阻器的制造。本发明更加特别地涉及以夹层布置方式设置的金属电阻器, 其中外层用来保护该电阻器。背景技术在集成电路(IC)处理中的许多情形下,针对各种电路功能需要不同 值的电阻器。特别地,温度测量需要具有相对高的电阻温度系数(TCR) 以及低噪声的电阻器。虽然金属膜不具有最高的TCR,但它们具有非常低 的固有噪声,因而能够有利地应用于温度变化小的测量中。 一个具体的应 用4^吏用微机电(MEMS)型...
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