技术编号：6890208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体装置，特别涉及具有铁电电容器的半导体装置及 其制造方法。背景技术铁电存储器是电压驱动的非易失半导体存储器元件，具有动作快速、电 消耗少、并且即使切断电源所存储的信息也不消失的优良的特性。铁电存储器已经被应用于ic卡和便携式电子设备上。典型的FeRAM具有铁电膜被一对电极夹持的铁电电容器，根据电极间 的施加电压而在所述铁电电容器中引起极化，从而存储信息。这样以极化的 形式写入铁电膜中的信息即使除去施加电压也能够被保持。在该铁电电容器中，如...
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