技术编号:6890950
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面发射半导体激光器、用于制造表面发射半导体激光 器的方法、模块、光源装置、数据处理装置、光发送装置、光学空间传 输装置和光学空间传输系统。背景技术在诸如光通信或光存储的中,对表面发射半导体激光器,即垂直腔表面发射激光器(下文中称为VCSEL)的关注正在增长。VCSEL 具有边缘发射半导体激光器所不具备的卓越特性。例如,VCSEL有低阈 值电流和小功耗的特征。藉由VCSEL,可以容易地获得圆形光斑,可以 当VCSEL在晶片上时进行评价,并且光源可...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。