技术编号：6891099
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光系统，特别是但非排他地用于提供适合于对半导体膜的进行激光结晶的输出分布，如在薄膜器件中对非晶硅的结晶以形成多晶硅。本发明也涉及使用这种激光系统结晶半导体膜的设备和方法。众所周知使用激光结晶处理能够制造例如用于显示器或其它电路的低温多晶硅(poly-silicon)器件。但是，由于激光结晶处理的差的均匀性，导致激光结晶处理的差的产出率。产生这种差的均匀性的一个因素就是使用了一种简单的所谓帽顶(top-hat)光束分布。这种形式的输出对公知的激光...
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