光传感器元件和使用它的光传感器装置、图像显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6891173

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本发明涉及在绝缘膜衬底上形成的薄膜光传感器元件和使用了该元件的光传感器装置,特别是涉及X射线摄像装置、生物识别用近红外线检测装置等的光传感器阵列、或在显示板中内置有采用了光 传感器的触摸屏功能、调光功能、输入功能的图像显示装置、例如液晶显示器、有机EL (Electro Luminescence电致发光)显示器、无 机EL显示器、EC (Electro Chromic电致变色)显示器中使用的低 温工艺半导体薄膜晶体管、低温工艺光传导元件或低温工艺光电二极 ...
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