技术编号:6892012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造具有透明导电膜的设备,且更具体地涉及一种用于通过使用等离子体在真空下,在一基底上形成一透明导电膜的设备。如图9至12所示,该常规的基底生产设备包括一离子电镀设备,其通过使用一膜形成夹具(jig)900和馈送辊1000,通过在自一ITO烧结体蒸发且通过一等离子束被离子化的ITO的颗粒的气氛中馈送一绝缘基底,而在该绝缘基底上形成一ITO膜,在该膜形成夹具900中,该绝缘基底被固定地配置。下面进行详细的描述。图9是在该常规的离子电镀设备中使...
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