技术编号：6892193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有纳米尺寸周期结构金属光栅的纳孔径阵列半导 体激光器，用于近场光存储、纳米尺度的光刻技术以及生物传感与检测 等。背景技术目前，纳米光源在近场光学成像、探测和近场高密度存储等领域有广 泛的应用。而广泛应用的纳米孔径镀金属膜的光纤探针，其通光效率低、 体积大、不利于器件的集成。近年来提出的纳米孔径激光器，相比传统的光纤探针光源，输出功率 和透过效率都有大幅提高。其基本的制作方法是在现有的半导体固体激光 器的出光面镀金属膜，并在金属膜上制作纳米尺...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。