技术编号:6892196
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明是一种在双极型纵向NPN管制作工艺中采用磷埋及深磷埋技术的工艺方法,属于半导体制作。 背景技术 随着国际半导体技术的发展以及原材料成本不断上涨,各国对于集成电路领域的竞争越来越激烈,对功放类集成电路的技术要求也越来越高,总是希望能在尽可能小的芯片上输出尽可能大的功率。而芯片输出功率的大小与整个电路的输出级息息相关。为此,功放类集成电路的输出级设计就显的尤为关键。目前,市场上功放电路使用较多的输出级结构如图1所示,图中NPN型管T1与NPN型管T...
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