技术编号:6892821
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路器件制造领域,尤其涉及一种基于绝缘衬底硅(SOI)衬底的共平面波导及其制作方法。背景技术在互补型金属氧化物半导体(CMOS)射频集成电路(RFIC)中,微波传 输线是不可或缺的组成部分,它的主要用途是以最小的损耗传输电磁能量。此 外,微波传输线还用于构成谐振电路、滤波器等微波元器件。共平面波导是射频集成电路中最常用的传输线之一,影响共平面波导损耗 的因子有导体损耗、介质损耗、辐射损耗。其中主要是导体损耗和介质损耗。 导体损耗主要由金属导体...
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