技术编号:6893043
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到的光电探测器及制造工艺技术,具体是指具有内增益的可见 盲紫外探测器及制备技术。技术背景如今,紫外探测技术己经越来越显示出它的重要性,小信号探测对探测器性能提出了更高的要求。曾经出现的紫外真空管以及Si基、SiC基等具有内增益的紫外探测器,自身固有的缺点限制了它们在紫外探测领域的应用前景,而工作在紫外波段的具有内增益的GaN基半导体紫外探测器恰好可以克服这些 方面的不足。这种类型的探测器在激光成像雷达、环境探测、荧光、远距离探 测等各个领域均有十...
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