技术编号:6893462
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子及半导体,尤其涉及一种垂直腔面发射激光器(vertical-cavity surface-emitting laser即VCSEL)列阵芯片的串接结构,适用于 军事、医疗、工业加工等领域。背景技术半导体激光器以其体积小、重量轻、寿命长、效率高等优点越来越多地吸 引了人们的注意。而其中的垂直腔面发射激光器又具有许多传统的边发射激光 器所不具备的优点,例如制造成本低廉、可靠性好、光谱和光束质量好等。因 此垂直腔面发射激光器具有良好的发展前景。为...
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