技术编号:6893583
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子,更具体地,涉及一种用于半导体 加工/处理工艺的晶片夹持系统。此外,本发明还涉及一种应用该晶 片夹持系统的半导体处理设备。背景技术在集成电路(IC)制造工艺过程中,特别是等离子刻蚀(ETCH)、 物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等工艺过程中,为了固 定、支撑及传送晶片(Wafer)等被加工器件,避免被加工器件出现 移动或错位现象,往往使用静电卡盘(Electro Static Chuck,简称 ESC)或者机械夹具等晶片夹持装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。