技术编号：6894491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。与高压垂直晶体管集成的感测FET本公开涉及半导体器件、器件结构和用来制作高压或功率晶体管 器件的工艺。背景技术电流感测场效应晶体管，通常被称作感测fet,在其中精确电流感 测可以为控制和过电流保护提供信息的应用中已经被广泛使用许多 年。感测场效应晶体管通常构成更大的、主电流运栽半导体器件的小 部分或晶体管部分。例如，在常规的绝缘栅场效应晶体管(M0SFET) 器件中，感测场效应晶体管可以包括主器件的沟道区的小部分。在操 作中，感测场效应晶体管可以采样更大器...
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