技术编号：6894663
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明系有关于一种在电路板、液晶组件用玻璃基板、PDP用玻璃组件基板等平面基材的表面形成图案的曝光描图装置。技术背景例如电路板(印刷电路板)系搭载于行动电话、各种移动电子机器 及个人计算机等。搭载于该等被搭载机的基材的图案，倾向于要求其分 辨率及连接用焊盘径、比尔径等相当细微的构造。对应于该等要求，在 图案形成用曝光工程中，必须增加曝光装置的光量，又必须提高光的矫 正度而提高平行光的精度。另一方面，在短期间内可生产多品种量少的产品的要求越来越强。 以习知的...
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