技术编号:6894772
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适于用作通信设备、测量仪器、光记录设备和图像形成装置的光源的。背景技术 近来,在光通信和光记录中,对可以容易实现二维光源阵列的排列的表面发射半导体激光器的需求一直在增长。这种表面发射半导体激光器又称作垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。VCSEL具有低阈值电压、低功率消耗、容易形成光圆点和由基于晶片评估而导致的高生产率等许多优点。图7A是常规VCSEL芯片的平面图,图7B是沿图7A中所示的线A-A取的剖视图。VCSEL芯片100具有GaAs衬底1...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。