技术编号:6894785
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及液晶显示器制造领域,尤其涉及薄膜晶体管。 背景技术有机发光二极管(OLED)越来越受到人们的关注。OLED屏通常采用非晶硅薄膜晶体管作为驱动,而非晶硅薄膜晶体管开关器件电子迁移率低,不能满足OLED屏的电流驱动方式。因此将非晶硅转换为多晶硅,提高电子迁移率来改善TFT开关器件的电特性显得尤为重要。现有技术的缺点在于,薄膜晶体管直接形成于透明衬底表面,需要生长多层堆叠结构,并且还需要制作薄膜晶体管与外部组件的电学连接结构,工艺过程繁琐,成本较高...
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