技术编号:6894833
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,该容器插入有沿周向被分割的环状的中间部件,其内侧空间和外侧空间的一方为大气气氛、另一方为真空气氛,并在气密地划分这两个气氛的密 封结构上具有特征。背景技术例如包括在FPD (Flat Panel Display平板显示器)基板的表面上 形成电路图案的工序,在该工序中,在基板上实施蚀刻、溅射、CVD (Chemical Vapor Deposition化学气相沉积)等的等离子体处理。作 为进行这样的等离子体处理的装置,例如能够举出平行平板等离...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。