技术编号：6894885
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用药液、纯水等处理液对半导体晶片或液晶显示装置用 玻璃基板(以下、简称为"基板")等的基板进行清洗等处理的基板处理装 置。背景技术以往，作为该种装置，例如可以举出如下所述装置，该装置具有处理 槽，该处理槽用于贮存处理槽、并收容基板；喷嘴，该喷嘴用于向处理槽的 上部空间供给异丙醇(IPA)气体(例如，参照JP特开平10—22257号公报 (0024段、0025段、图3))。在该装置中，向处理槽供给纯水而对基板进 行清洗后，向处理槽的上部空间供给...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。